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包装规格
气缸类型
内容
容量
阀门
重量
40L
CGA580
35公斤
47L
40公斤
电子C4F8 99.999%
规格
99.999%
O2+氩气
≤ 1 ppm
N2
≤2ppm
H2
≤0.5ppm
一氧化碳
一氧化碳2
CH4
OHC
水分
≤3ppm
高频
≤0.1ppm