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包装规格
气缸类型 | 内容 | |
容量 | 阀门 | 重量 |
47L | DISS-634/CGA-728/CGA-660 | 50公斤 |
电子Cl2 99.999%
杂质 | 公式 | 规格 |
氢 | H2 | ≤ 0.1 ppmv |
氮 | N2 | ≤ 1 ppmv |
氧 | O2 | ≤ 0.5 ppmv |
一氧化碳 | 一氧化碳 | ≤ 0.5 ppmv |
二氧化碳 | 一氧化碳2 | ≤ 0.5 ppmv |
甲烷 | CH4 | ≤ 0.1 ppmv |
水 | H2O | ≤ 1 ppmv |
氯 | 氯2 | ≥99.9995% |
铁 | 铁 | ≤10ppbw |
镉 | 光盘 | ≤ 1 ppbw |
铜 | 铜 | ≤ 5 ppbw |
钠 | 钠 | ≤10ppbw |
锌 | 锌 | ≤10ppbw |
铬 | Cr | ≤ 5 ppbw |
镍 | 镍 | ≤10ppbw |
铝 | 铝 | ≤ 1 ppbw |
磷 | P | ≤ 1 ppbw |
包装规格
气缸类型 | 内容 | |
容量 | 阀门 | 重量 |
47L | DISS-634/CGA-728/CGA-660 | 50公斤 |
电子Cl2 99.999%
杂质 | 公式 | 规格 |
氢 | H2 | ≤ 0.1 ppmv |
氮 | N2 | ≤ 1 ppmv |
氧 | O2 | ≤ 0.5 ppmv |
一氧化碳 | 一氧化碳 | ≤ 0.5 ppmv |
二氧化碳 | 一氧化碳2 | ≤ 0.5 ppmv |
甲烷 | CH4 | ≤ 0.1 ppmv |
水 | H2O | ≤ 1 ppmv |
氯 | 氯2 | ≥99.9995% |
铁 | 铁 | ≤10ppbw |
镉 | 光盘 | ≤ 1 ppbw |
铜 | 铜 | ≤ 5 ppbw |
钠 | 钠 | ≤10ppbw |
锌 | 锌 | ≤10ppbw |
铬 | Cr | ≤ 5 ppbw |
镍 | 镍 | ≤10ppbw |
铝 | 铝 | ≤ 1 ppbw |
磷 | P | ≤ 1 ppbw |
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