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包装规格
气缸类型 | 内容 | |
容量 | 阀门 | 重量 |
40L | CGA 590/QF-2 | 50公斤 |
47L | CGA 590/QF-2 | 58公斤 |
50L | CGA 590/QF-2 | 62公斤 |
500L | CGA 590/QF-2 | 625公斤 |
工业SF6 99.995%
规格 | ≥99.995% |
空气 | ≤ 10 ppm |
CF₄ | ≤2ppm |
C2F6 | ≤ 20 ppm |
C3F8 | ≤ 5 ppm |
低硫化物 | 未检测到 |
水分 | ≤ 1 ppm |
高频 | ≤0.1ppm |
氢氟酸水解氟化物 | ≤0.3ppm |
矿物油 | ≤ 1 ppm |
电子SF6 99.999%
规格 | ≥99.999% |
O2+氩气 | ≤ 1 ppm |
N2 | ≤2ppm |
CH4 | ≤0.1ppm |
一氧化碳 | ≤0.5ppm |
CF4 | ≤0.5ppm |
一氧化碳2 | ≤0.5ppm |
水分 | ≤3ppm |
高频 | ≤0.1ppm |
氢氟酸水解氟化物 | ≤0.8ppm |
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